SETO 1.67 עדשת פוטו -כרומית SHMC

1) מהו ציפוי ספין?

ציפוי ספין הוא הליך המשמש להפקיד סרטים דקים אחידים על מצעים שטוחים. בדרך כלל מיושם כמות קטנה של חומר ציפוי במרכז המצע, המסתובב במהירות נמוכה או לא מסתובב בכלל. לאחר מכן מסתובב המצע במהירות עד 10,000 סל"ד כדי להפיץ את חומר הציפוי על ידי כוח צנטריפוגלי. מכונה המשמשת לציפוי ספין נקראת סיבוב Coater, או פשוט ספינר.
הסיבוב נמשך בזמן שהנוזל מסתובב משולי המצע, עד שהעובי הרצוי של הסרט מושג. הממס המיושם הוא בדרך כלל תנודתי, ובמקביל מתאדה. ככל שהמהירות הזוויתית של הסיבוב גבוהה יותר, הסרט דק יותר. עובי הסרט תלוי גם בצמיגות ובריכוז הפיתרון ובממס. ניתוח תיאורטי חלוצי של ציפוי ספין נערך על ידי Emslie et al., והורחב על ידי מחברים רבים הבאים (כולל Wilson et al., שחקרו את קצב ההתפשטות בציפוי ספין; ו- Danglad-Flores et al., שמצאו א ' תיאור אוניברסלי כדי לחזות את עובי הסרט המופקד).
ציפוי ספין נמצא בשימוש נרחב במיקרו-ייצור של שכבות תחמוצת פונקציונליות על זכוכית או מצעי גביש בודדים באמצעות מבשרי SOL-Gel, שם ניתן להשתמש בהם ליצירת סרטים דקים אחידים עם עובי ננו. [6] הוא משמש באינטנסיביות בפוטוליטוגרפיה, כדי להפקיד שכבות של פוטורסיסט בעובי של 1 מיקרומטר. בדרך כלל פוטוריסט מסתובב ב 20 עד 80 מהפכות בשנייה למשך 30 עד 60 שניות. הוא נמצא בשימוש נרחב גם לייצור מבנים פוטוניים מישוריים העשויים פולימרים.
יתרון אחד לסיבוב סרטי ציפוי דק הוא אחידות עובי הסרט. בשל הרמה העצמית, עובי אינם משתנים יותר מ- 1%. עם זאת, ציפוי סיבוב סרטים עבים יותר של פולימרים ופוטורסיסטים יכולים לגרום לחרוזי קצה גדולים יחסית שהמפיקים שלהם יש גבולות פיזיים.